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不一会。
首席工程师杨方才小跑回来,脸上带着抹喜悦。
“成了!林工程师,陈总,我们生产的光掩膜版图案没有任何缺陷,不需要修补!”
话音刚落。
周围的工程师都在放声大笑。
“哈哈哈!成了!”
“历时二十多天,终于把这该死的光掩膜版生产出来了,下面就是多重曝光技术了吧,好期待,不知道会是什么样的。”
“这你们就不懂了吧,我是龙芯国际那边派过来的,多重曝光技术就是曝光两次,就好比阴阳太极图,别人可以一次性曝光,我们分阴阳面曝光。”
“原来如此,好期待!”
“这是学校没教过的知识,真想亲眼见证一波!”
听着周围的赞叹,林天眼皮都没抬一下,他早就知道光掩膜版的生产结果了。
如果连他亲自出马都无法生产合格的光掩膜版,那全世界也没有人可以做到了。
自信!可不是说说而已的!
“多重曝光技术我只教一次,你们自己可看好了。”
林天淡淡说道。
蓝绿厂的首席光刻工程师杨方才闻言,连忙回应道:“明白明白,我们一定好好学。”
因为马上要进入光刻机的洁净区域,手机基本是不可能带的,只能靠肉眼观测,能学到多少,全凭他们自己的天赋。
“总裁要一起去吗?”
林天侧目询问。
陈星也想见证一下,淡淡表示道:“反正我在这里也没什么事,进去看看也无妨。”
刚说完,他又压低声音叮嘱道:“尽量教仔细点,你不可能一直待在这里生产。”
“明白。”
林天点了点头道。
他很清楚,陈星一直在帮他弄小型粒子加速器,等设备抵达,他就要去搭建光刻工厂了,哪里还有时间教他们多重曝光技术。
……
光刻机洁净区域。
蓝绿厂的老总陈永得知光掩膜版生产完成那刻,便马不停蹄地赶来工厂,也想着见证开天基带芯片生产过程。
48纳米光刻机前,林天正在为光刻工程师们讲课。
“多重曝光技术,顾名思义就是利用多次曝光、刻蚀,得到我们最终想要的电路图案。”
“举个例子,我们要生产的开天基带芯片,它是28纳米制程,可我们的光刻机是48纳米制程,精度和分辨率远远不够怎么办呢?”
“最直接的办法是换台光刻机,但我们没有这个条件,这就需要在光掩膜版上下功夫,将原本完整的电路图案给拆开,分为阴阳互补的两块或者四块,这样就得到了两份56纳米间隔的电路图案。”
“单次曝光是56纳米,48纳米制程光刻机的精度和分辨率是不是就可以进行生产作业了?”
“这就是多重曝光技术。”
林天宛如老师给学生上课,教得特别仔细,并且还实操演示了一遍多重曝光技术全过程。
首席工程师杨方才,以及其他光刻工程师都看呆了。
这是什么天才想法?
设备不够,工艺来凑!
怪不得龙芯国际能够生产14纳米轻舟芯片,原来它们学会了多重曝光技术。
姗姗来迟的陈永听着林天的无私授课,快步来到陈星面前道:“陈老弟,这次真的太感谢你了。”
虽说两人都穿着防尘服,看不见具体样貌,但身处听课工程师人群的外围,很容易就能猜到彼此的身份。
陈星听见是陈永声音,露出抹微笑回应道:“都是国产联盟的,我们就不需要这么客气了,这段时间还要借用老哥你的光刻机呢。”
“哈哈,是我太见外了。”陈永点了点头,随即继续说道:“陈老弟想用多久用多久,如果有需要的话,我给你也搞两台回来。”
“陈老哥的好意我心领了,这个以后再谈吧。”
陈星婉拒道。
花1亿多买48纳米光刻机,他可没有那么多钱,他宁愿拿去投资光刻工厂。
不过光刻工厂属于绝密,他也没什么都往外说。
国产联盟虽好,但人心隔肚皮,要是利益足够大,谁也说不准会不会出现老鼠。
见陈星婉言相拒,陈永也是个聪明人,没有再多说什么,两人静静地等待芯片产出。
半小时后。
一位光刻工程师拿着封装好的开天基带芯片,快步来到陈永和陈星面前道:
“成了,是28纳米的!”
“检测清楚了吗?”
陈永连忙追问。
如果芯片真是28纳米,那就说明多重曝光技术是真的,他的光刻机变废为宝了!
“是28纳米的!”
“切割裸片良率怎么样?”
“95%!”
“我们工程师操作的呢?”
“这